双质量硅微机械陀螺固有频率温度特性研究

作     者：凤瑞 裘安萍 施芹 苏岩 Feng Rui;Qiu Anping;Shi Qin;Su Yan

作者机构：南京理工大学机械工程学院江苏南京210094 

基　　金：南京理工大学自主科研专项计划资助项目(2010GJPY002) 

出 版 物：《南京理工大学学报》 (Journal of Nanjing University of Science and Technology)

年 卷 期：2013年第37卷第1期

页      码：94-100页

摘      要：为提高双质量硅微机械陀螺温度特性,该文对陀螺固有频率进行了温度特性研究。分别对杨氏模量温度系数、热应力和材料的热膨胀系数三种因素导致的陀螺固有频率随温度变化特性进行了理论数值计算和有限元仿真分析。为避免由于电路、杂散电容和其他因素引入的测量误差,提出了基于振铃原理的硅微机械陀螺固有频率测量方法。采用该方法在高精度恒温箱中测量了不同环境温度下双质量硅微机械陀螺的固有频率,并计算了陀螺固有频率温度系数。误差分析表明该测量方法测量高品质因数陀螺的固有频率精确度高。实验数据验证了理论分析和仿真结果,杨氏模量温度系数是导致硅微机械陀螺固有频率随温度变化的最主要因素,并且硅微陀螺固有频率与温度近似成线性关系。研究结论为双质量硅微机械陀螺的温度优化设计提供了理论依据。

主 题 词：硅微机械陀螺 固有频率 温度特性 振铃 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9830.2013.01.016

馆 藏 号：203915720...