光刻伺服盘检测

作     者：罗敢 朱永红 张江陵 赫连娜 

作者机构：华中理工大学 

基　　金：国家自然科学基金重点项目资助 

出 版 物：《武汉工业大学学报》 (Journal of Wuhan University of Technology)

年 卷 期：1996年第18卷第1期

页      码：77-79页

摘      要：光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.

主 题 词：光刻伺服盘 伺服定位 质量检测 磁盘 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

馆 藏 号：203916693...