压阻式微加速度计动态特性与阻尼的关系研究

作     者：毛海央 熊继军 张文栋 徐栋 范波 Mao Haiyang;Xiong Jijun;Zhang Wendong;Xu Dong;Fan Bo

作者机构：中北大学电子测试技术国防重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金重点项目(50535030) 霍英东基金(101052) 新世纪优秀人才计划资助项目 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2007年第28卷第9期

页      码：1594-1599页

摘      要：采用微机械加工工艺制作的压阻式微加速度计在测试过程中经常出现动态特性欠佳甚至于结构损坏的现象,在压阻式微加速度计中,合理设计阻尼参数有助于改善传感器的动态特性。将压阻式微加速度计简化为二阶模型,定性分析了系统动态特性与阻尼之间的关系,研究了压阻式微加速度计结构中阻尼的设计和控制方法,仿真、比较了带不同阻尼参数传感器系统的动态特性,并通过实验验证了仿真分析的正确性。

主 题 词：阻尼 压阻式微加速度计 二阶系统 动态特性 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2007.09.011

馆 藏 号：203917159...