用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作及端头磁针尖设计

作     者：刘勇 赵钢 陈宇航 孔雯 褚家如 LIU Yong;ZHAO Gang;CHEN Yuhang;KONG Wen;CHU Jiaru

作者机构：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230027 

基　　金：中国科学院重大科研装备研制项目(YZ0637) 国家自然科学基金资助项目(50805137) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2010年第23卷第10期

页      码：1399-1402页

摘      要：提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法。采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁减薄至0.5μm,同时生成SiO2保护层。在KOH溶液进行体硅刻蚀过程中,以黑蜡和SiO2保护层作为正面保护,之后用溶液置换方法完成埋氧层去除及悬臂梁清洗过程。悬臂梁尺寸为465μm×10μm×0.5μm,室温真空中Q值为23000,在低温环境中可以满足单电子自旋探测要求。分析比较了球体、圆锥体、圆柱体三种磁针尖磁场梯度分布,为磁针尖结构设计提供了依据。

主 题 词：磁共振力显微镜 悬臂梁 磁针尖 电子自旋 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2010.10.007

馆 藏 号：203918397...