SOI压力传感器的灵敏度优化设计

作     者：吴迪 谢贵久 金忠 景涛 袁云华 宋祖殷 WU Di;XIE Guijiu;JIN Zhong;JING Tao;YUAN Yunhua;SONG Zuyin

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙410111 空军驻湖南地区军代室长沙410110 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2012年第25卷第8期

页      码：1064-1068页

摘      要：目前压阻式压力传感器灵敏度优化计算仅基于压阻条整体性几何分布,在相关参数的优化上存在局限性,且在模型及计算等方面有一定误差。本文提出一种专门用于SOI压力传感器,通过精确分析敏感栅的栅数、栅长以及其坐标分布的最佳组合参数,结合不同量程芯体膜厚的计算,达到传感器灵敏度优化的方法。基于Microsoft Visual C++平台以及有限元、数值分析等接口技术,采用参数化建模,有限元分析仿真,数值后处理,编制循环分析算法,设计SOI压力传感器灵敏度优化程序。通过实验数据验证优化设计与实际吻合较好。

主 题 词：SOI压力传感器 灵敏度 优化设计 有限元 敏感栅 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2012.08.009

馆 藏 号：203919348...