声表面波温度传感器的仿真与设计

作     者：吴展翔 刘文 卢小荣 WU Zhanxiang;LIU Wen;LU Xiaorong

作者机构：华中科技大学武汉光电国家实验室湖北武汉430074 常州智梭传感科技有限公司江苏常州213164 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2014年第36卷第1期

页      码：8-11页

摘      要：利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶,并在石英上镀ZnO薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响,并根据仿真结果设计和制作了一种镀ZnO薄膜的SAW温度传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高(8.8kHz/℃),误差小,具备良好的温度-频率特性。

主 题 词：声表面波 温度传感器 ZnO薄膜 叉指换能器 COMSOL 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2014.01.003

馆 藏 号：203919928...