太赫兹微测辐射热计的设计、仿真与制备

作     者：苟君 蒋亚东 王军 喻磊 黎威志 

作者机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054 

基　　金：国家自然科学基金(61006036 61235006)资助 

出 版 物：《科学通报》 (Chinese Science Bulletin)

年 卷 期：2014年第59卷第8期

页      码：727-732页

摘      要：为提高太赫兹(THz)微测辐射热计的探测灵敏度,优化设计探测单元的微桥结构:增加10nm的镍铬(NiCr)金属薄膜用作THz辐射吸收层并增大探测单元面积.采用IntelliSuite软件建立不同单元尺寸、不同桥腿宽度的微桥结构的有限元分析模型,进行力学与热学仿真.力学仿真表明,增大探测单元面积,形变明显增加;增大桥腿宽度可以小幅改善形变.热学仿真表明,通过增大探测单元面积或减小桥腿宽度可以提升桥面温升.制备出基于不同探测单元结构的THz微测辐射热计焦平面阵列,探测单元的实际形变情况与仿真结果基本相符.单元面积75?m×75?m,桥腿宽度1.3?m的微桥结构具有较好的力学与热学性能,适合用作THz微测辐射热计的探测单元结构.

主 题 词：太赫兹微测 辐射热计 力学仿真 热学仿真 制备 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.1360/972013-575

馆 藏 号：203919964...