一种基于谐振原理的微型压力传感器设计

作     者：林丙涛 李海 蒋昭兴 董宏奎 赵建华 张巧云 LIN Bingtao;LI Hai;JIANG Zhaoxing;DONG Hongkui;ZHAO Jianhua;ZHANG Qiaoyun

作者机构：中国电子科技集团公司第26研究所重庆400060 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2014年第36卷第2期

页      码：159-161页

摘      要：设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构,并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片,其性能实测值与仿真结果基本吻合,验证了结构及工艺方案的可行性。

主 题 词：石英 压力传感器 谐振 线性度 键合 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2014.02.001

馆 藏 号：203919992...