一种全息光栅曝光系统结构

作     者：撖芃芃 HAN Peng-peng

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 

基　　金：吉林省科技发展计划项目(20126012) 吉林省科技厅青年科研基金项目(20100127) 

出 版 物：《长春工业大学学报》 (Journal of Changchun University of Technology)

年 卷 期：2014年第35卷第6期

页      码：639-644页

摘      要：采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。

主 题 词：全息光栅 波前质量 模态分析 稳定性 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-1374.2014.06.009

馆 藏 号：203920493...