0.3 ng/Hz1/2超高灵敏度MEMS加速度计研究进展

作     者：王秋 刘骅锋 许强伟 宋萧萧 严世涛 涂良成 WANG Qiu;LIU Huafeng;XU Qiangwei;SONG Xiaoxiao;YAN Shitao;TU Liangcheng

作者机构：华中科技大学物理学院引力中心重力导航教育部重点实验室武汉430074 

基　　金：国家重点研发计划(2018YFC0603301,2017YFC061603) 湖北省自然科学基金(2019CFB108) 装发预研领域基金重点项目(61405170105) 中国航天科技集团创新基金重点项目(CAST-BISEE2017-019) 国家自然科学基金(61306095,61574067) 华中科技大学重点创新团队基金(2016JCTD102) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2020年第28卷第1期

页      码：100-105页

摘      要：采用微纳加工工艺制备了硅基微机电(MEMS)超高灵敏度加速度计,并针对超高灵敏度MEMS加速度计进行了结构设计及仿真。通过独特自主的体硅一体化刻穿工艺加工出MEMS加速度计敏感结构,测得MEMS加速度计噪声谱密度在1 Hz处为0.3 ng/Hz1/2,46 h偏值稳定性为740 ng,量程1 mg,带宽10 Hz,抗随机振动可达8 g(RMS),抗冲击过载1000 g。相比于传统的高精度加速度计,本文提出的基于微纳加工工艺的硅基超高灵敏度MEMS加速度计体积小、重量轻、环境适应性强,具有可批量化生产和成本低的优势,有望用于对灵敏度有较高要求的微震测量、微重力环境应用、空间探测等领域。

主 题 词：超高灵敏度加速度计 微机电系统 稳定性 噪声评估 环境适应性 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2020.01.016

馆 藏 号：203923004...