128×128PtSi高速逐行扫描CCD器件的研制

作     者：翁雪涛 易萍 唐遵烈 李华高 陈于伟 陈红兵 WENG Xue-tao;YI Ping;TANG Zun-lie;LI Hua-gao;CHEN Yu-Wei;CHEN Hong-bing

作者机构：重庆光电技术研究所重庆400060 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2005年第26卷第3期

页      码：177-179页

摘      要：采用2μm的设计规则,在硅工艺线上,成功设计和制作了128×128PtSi高速逐行扫描CCD器件。介绍了器件的结构、制作工艺和参数测试结果。

主 题 词：CCD 高速 逐行扫描 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5868.2005.03.003

馆 藏 号：203924714...