激光直写凹球面网栅的电控实现

作     者：梁凤超 胡君 续志军 LIANG Feng-chao;HU Jun;XU Zhi-jun

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 

基　　金：国防科技预研基金项目(No10.4.2.ZK1001) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2006年第14卷第5期

页      码：792-796页

摘      要：凹球面网栅激光直写系统采用同心结构，应用调节角速度的控制算法以及周期纬线纬纬相交形成网栅的图形结构，确保激光直写光斑在不同的纬度以不同角速度扫描，始终保持线速度和曝光量恒定，实现了在凹球面上以恒定曝光量激光直写网栅。分析了网格周期、角速度和纬线弧长等关键参数，设计了控制程序。在通光孔径60mm的普通玻璃凹球面上进行了多组激光直写试验，设定周期450～800μm，线速度1～20mm／s，经显影、定影后由微米级读数显微镜测得网格实际周期与设定周期误差在±3％以内，原子力显微镜测得线宽小于5μm。结果表明：采用同心结构及稳光、调速控制保证凹球面网栅激光直写系统的曝光量不变，线条侧壁陡直、平行，具有较好的均匀性，满足了设计要求。

主 题 词：凹球面 激光直写 网栅 PMAC 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2006.05.013

馆 藏 号：203925312...