有限元法在表面波等离子体中的数值模拟应用

作     者：陈兆权 胡业林 洪伶俐 杨岸 郑晓亮 李平 黄友锐 CHEN Zhao-quan;HU Ye-lin;HONG Ling-li;YANG An;ZHENG Xiao-liang;LI Ping;HUANG You-rui

作者机构：安徽理工大学电气与信息工程学院安徽淮南232001 

基　　金：华中科技大学研究生科技创新基金资助项目(HF0601708131) 教育部留学归国人员科研启动基金资助项目 973-ITER计划国内配套基金资助项目(GB105003) 

出 版 物：《安徽理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Anhui University of Science and Technology:Natural Science)

年 卷 期：2011年第31卷第3期

页      码：17-21页

摘      要：工业用平板型表面波等离子体(SWP)源具有大面积、高密度、高活性等优良性能,其建造之前必须进行结构优化,而对表面电磁波的数值模拟,可以辅助其优化设计。基于有限元法(FEM),采用AnsoftHFSS模拟软件,数值仿真了大面积矩形SWP源的电磁场空间分布。研究了开槽天线激发表面波场的特性,得出了表面波场的空间分布,与理论分析和实验结果进行了对比,解释了表面波放电的实验现象。研究结果表明在石英-等离子体界面有表面电磁波存在,且分布均匀。研究成果为大面积高效等离子体工艺的产业应用提供建议,也为下一代超大面积SWP源的成功建造提供了有益借鉴。

主 题 词：有限元法 表面波 等离子体 数值模拟 

学科分类：080804[080804] 080805[080805] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-1098.2011.03.005

馆 藏 号：203925440...