双图案非均匀耦合固结磨盘的设计及实验研究

作     者：徐超群 方从富 严振 Xu Chaoqun;Fang Congfu;Yan Zhen

作者机构：华侨大学机电及自动化学院福建厦门361021 

基　　金：国家自然科学基金(51675193) 华侨大学研究生科研创新基金(18013080037) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2020年第40卷第8期

页      码：138-146页

摘      要：针对传统固结磨盘因其表面沟槽形式单一而难以保证蓝宝石等硬脆性材料加工质量的问题,提出了一种螺旋-同心圆双图案非均匀耦合结构的新型固结磨盘(DPP)设计,并进行了实验研究。DPP采用螺旋槽作为排屑槽,降低了磨盘表面的堵塞程度,以保证加工表面获得低粗糙度,延长工具使用寿命;采用同心圆槽调整磨盘表面磨粒分布,提高了磨盘对工件材料的去除均匀性,以保证加工表面获得更高的平坦度。基于该设计原理,制备了用于蓝宝石加工的新型磨盘,并与传统网格槽型盘(GGP)进行对比。实验结果表明:采用DPP加工时工件表面的凹坑划痕数量更少,约为GGP的35%;研磨后磨盘表面堵塞程度更低,约为GGP的30%。虽然,采用DPP加工时工件材料去除率较GGP低14%,但是材料去除厚度非均匀性为0.0494,比GGP低32%,表面粗糙度为129.4μm,比GGP低16.2%。因此,采用DPP加工时工件材料去除分布更均匀,工件表面质量更好。实验结果证明:DPP不仅可以获得更好的工件表面质量,还可以延长磨盘的使用寿命,可满足对高质量表面、大规模生产蓝宝石等脆硬材料的精密研磨加工需求。

主 题 词：表面光学 螺旋-同心圆双图案 材料去除分布 表面粗糙度 表面形貌 研磨 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS202040.0824001

馆 藏 号：203926211...