基于ANSYS的超重力真空蒸发室模态分析与优化

作     者：叶玮 马庆芬 臧小龙 曹光福 Ye Wei;Ma Qingfen;Zang Xiaolong;Cao Guangfu

作者机构：海南大学机电工程学院海口570228 

基　　金：国家自然科学基金项目(51769006) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第4期

页      码：291-296页

摘      要：超重力真空蒸发室转筒的稳定转动是获得超重力真空或低压环境以及设备安全运行的必要条件。利用ANSYS软件对超重力真空蒸发室进行了模态分析,得出了其在自由模态下、旋转预应力下及流体载荷下的各阶模态频率,预测超重力真空蒸发室可能在转筒转速达到359.37 r/min时发生共振。设计并制造了超重力真空蒸发室,搭建了测试平台,转筒内流体压力的测试结果表明当转筒转速为360 r/min时,超重力低压环境受到破坏,转筒发生了较大的振动,即发生了共振,与模态分析预测结果一致。对超重力真空蒸发室的振动性能进行优化,选取了4种具有代表性的金属和非金属作为转筒材料,基于ANSYS进行模态分析,最终铝合金被确定为转筒优化所选材料。

主 题 词：超重力真空/低压 ANSYS模态分析 共振 材料优化 

学科分类：07[理学] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.04.01

馆 藏 号：203929500...