基于光栅平移的大量程光学加速度计

作     者：陈柳华 林巧 李书 倪玮 吴兴坤 

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金(60577025)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2010年第30卷第5期

页      码：1473-1477页

摘      要：提出一种新颖的基于光栅±1级干涉和相位载波(PGC)调制解调的光学加速度传感方案,并进行了样机制作和测试,其分辨率达到4×10-5gn量级以上,动态范围在光学结构中不受限制,仅与惯性传感中机械结构线性范围有关。与其他类型微加速度计相比,该光学加速度传感器不但在分辨率和动态范围上均获得较大的提高,而且利用光栅干涉进行加速度传感能很好地保证干涉的稳定性,从而提高工作稳定性,降低对安装精度的要求。该方案还可以应用到微电子机械系统(MEMS)技术中,为设计高分辨率大量程微光机电系统(MOEMS)型加速度计,提供了新的思路。

主 题 词：传感器 加速度计 光栅干涉 相位载波调制解调 加速度传感器 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos20103005.1473

馆 藏 号：203933535...