一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析

作     者：张传伟 李妞妞 杨满芝 郭卫 许可俊 葛红玉 Zhang Chuanwei;Li Niuniu;Yang Manzhi;Guo Wei;Xu Kejun;Ge Hongyu

作者机构：西安科技大学机械工程学院陕西西安710054 

基　　金：国家自然科学基金(51805428、51705417) 陕西省自然科学基础研究项目(20018 JQ5205) 陕西省重点研究开发项目(2016KTZDGY4-01) 西安市科技项目(201805036YD14CG20(7)) 陕西省教育厅专项科研项目(18JK0528) 

出 版 物：《机械传动》 (Journal of Mechanical Transmission)

年 卷 期：2020年第44卷第6期

页      码：68-72页

摘      要：为获得精密直线运动输出,设计一种压电柔性微驱动系统,系统由压电致动器及柔性微动机构组成,在压电致动器驱动下系统具有亚微米级定位精度。基于柔性铰链导向、传动原理,设计了一种精密柔性微动机构,在此基础上提出了压电柔性微驱动系统设计方案。采用有限元法对系统进行了运动学分析、强度分析、动态分析,分析结果显示,系统具有定位精度高(最大定位误差为0.24μm)、强度性能好、动态性能优良等优势。研究对微驱动系统研究及应用具有一定的参考价值。

主 题 词：亚微米 压电致动器 柔性 微驱动系统 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.16578/j.issn.1004.2539.2020.06.012

馆 藏 号：203936206...