反射相移在Fabry-Perot标准具间距测量中的影响

作     者：余佳音 樊静 蓝旭辉 沈小燕 禹静 Yu Jiayin;Fan Jing;Lan Xuhui;Shen Xiaoyan;Yu Jing

作者机构：中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 长庆油田分公司技术监测中心陕西西安710021 

基　　金：国家自然科学基金面上项目(51875543) 国家自然科学基金青年科学基金(61605193) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2020年第57卷第9期

页      码：82-88页

摘      要：基于光学薄膜理论,采用光学特征矩阵法推导了空气隙Fabry-Perot(F-P)标准具高反射膜反射相移与入射角的数学模型,并用TFCalc膜系设计软件仿真分析了入射角范围在0°~3°时反射相移的变化,对数学模型进行了验证。结果表明,反射相移与入射角呈指数递增,入射角度在3°时反射相移为2.88×10^(-3)rad。实验搭建了F-P干涉成像光路,测得F-P标准具间距为(2015.50919±0.00002)μm,相对误差限约为8.6×10^(-9);与未考虑反射相移的测量结果[间距为(2015.50864±0.00082)μm,相对误差限约为9×10^(-7)]相比,测量准确度有了明显改善。

主 题 词：测量 多光束干涉 反射相移 小数重合法 法布里-珀罗标准具 相对误差限 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP57.091201

馆 藏 号：203938247...