MEMS用平面弹簧结构形状与刚度关系的研究

作     者：郑利兵 石庚辰 ZHENG LiBing;SHI GengChen

作者机构：北京理工大学机电工程学院北京100081 

出 版 物：《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期：2008年第30卷第1期

页      码：162-165页

摘      要：平面微型弹簧是微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中一种常用的弹性元件。在平面微型弹簧的设计与应用中,弹簧的刚度系数是其一个非常重要的参数。弹簧的刚度系数是由弹簧的形状、结构、尺寸和弹簧的材料确定的。利用材料力学的能量法,研究平面微型弹簧基本结构、形状和其刚度系数的关系,为设计平面微型弹簧提供理论指导。

主 题 词：微机电系统 平面微型弹簧 结构形状 刚度系数 

学科分类：07[理学] 08[工学] 071102[071102] 0711[理学-心理学类] 081104[081104] 080203[080203] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0701[理学-数学类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 0812[工学-测绘类] 081103[081103] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1001-9669.2008.01.033

馆 藏 号：203941114...