一种自适应安装的高精度图像式角位移测量装置

作     者：于海 万秋华 孙莹 卢新然 贾兴丹 YU Hai;WAN Qiu-hua;SUN Ying;LU Xin-ran;JIA Xing-dan

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51605465) 吉林省科技发展计划资助项目(No.20180520184JH) 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2020年第13卷第3期

页      码：510-516页

摘      要：采用图像探测器的角位移测量技术可实现高精度高分辨力角位移测量。为提高角位移测量装置的鲁棒性,本文设计了一种自适应安装的高精度图像式角位移测量装置。其装调过程非常简便,且可以保证在标定光栅存在偏心时具有高分辨力和高精度测量输出。首先,提出了基于双线阵图像传感器的测角装置设计原理,并设计了单圈绝对式标定光栅。然后,采用基于质心算法的高分辨力细分算法进行细分,并采用双线阵图像传感器对测角误差进行误差补偿。最后,设计实验装置测试自适应安装的性能。实验结果表明,当标定光栅的偏心度在±1 mm以内时,所设计装置可以实现高精度和高分辨力的角位移测量。本文所设计的装置可以在标定光栅存在±1 mm的安装偏心时保证输出精度,为小型角位移测量装置适应性的提高给出了解决方案。

主 题 词：角位移测量 误差补偿 双图像探测器 自适应安装 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CO.2019-0107

馆 藏 号：203945015...