用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统

作     者：罗伟栋 牛文成 张福海 那兴波 

作者机构：南开大学信息学院微电子学系天津300071 

基　　金：天津市自然科学基金 (0 0 3 60 0 611) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2002年第15卷第3期

页      码：189-192页

摘      要：本文设计了一个控制温度的模糊专家系统 ,用在半导体微机械加工制作中 ,控制腐蚀装置的温度 ,在负载较重、加热功率较大的条件下 ,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求 .与传统PID算法控制系统相比 ,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度 .

主 题 词：温度控制 模糊专家系统 MEMS 

学科分类：08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2002.03.002

馆 藏 号：203946312...