高纯含氟电子气体国产化成功

出 版 物：《浙江化工》 (Zhejiang Chemical Industry)

年 卷 期：2020年第51卷第6期

页      码：5-5页

摘      要：极大规模集成电路行业所需的高纯度气体有了新着落。"我们承担的国家科技重大专项‘极大规模集成电路制造装备与成套工艺’中的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目,通过了国家重大专项项目组的现场测试与评审。相关产品已提交客户使用,市场应用效果良好。" 6月11日,黎明化工研究设计院有限责任公司首席技术官牛学坤表示。

主 题 词：四氟化碳 六氟化硫 成套工艺 制造装备 首席技术官 国家科技重大专项 项目组 子项目 

学科分类：0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 081702[081702] 020205[020205] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

馆 藏 号：203946875...