高过载姿态测量中MEMS陀螺失效模式与研究进展

作     者：青泽 牟东 廉璞 李东杰 QING Ze;MU Dong;LIAN Pu;LI Dongjie

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 

基　　金：中国工程物理研究院创新发展基金资助项目(No.PY20200067) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2020年第42卷第3期

页      码：394-403,408页

摘      要：高过载条件下姿态测量是一个公认的难题,其原因主要是角速度传感器难以经受高过载的冲击。基于微机电系统(MEMS)技术的陀螺作为解决高过载姿态测量问题的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性导航系统在高过载环境中的应用。首先,介绍了弹药发射和侵彻两种典型高过载环境的特性,概括了在高过载环境中MEMS陀螺的响应类型;其次,总结了高过载条件下MEMS陀螺的失效模式,包括完全失效和功能性失效;然后,介绍了国内外在抗高过载MEMS陀螺方面的研究进展;最后,分别从器件设计和工程应用角度出发,提出了MEMS陀螺抗高过载的设计方法和应用思路。

主 题 词：惯性传感器 高过载 姿态测量 微机电系统(MEMS)陀螺 失效模式 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2020.03.025

馆 藏 号：203946910...