常见放气率测试方法的量化比较

作     者：关玉慧 宋洪 董海义 黄涛 王鹏程 刘佳明 刘顺明 谭彪 孙晓阳 Guan Yuhui;Song Hong;Dong Haiyi;Huang Tao;Wang Pengcheng;Liu Jiaming;Liu Shunming;Tan Biao;Sun Xiaoyang

作者机构：散裂中子源科学中心东莞523000 中国科学院高能物理研究所北京100049 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第6期

页      码：524-530页

摘      要：对材料放气率的准确测量至关重要,本文对自主设计出的转换气路(SPP)法测试装置进行了试用,装置重复性较好。将此方法与工程上常用的静态升压法、小孔流导法进行了数量上的直观比较,SPP法比小孔流导法、静态升压法测得的放气率更低。结合molflow模拟,实测值与模拟值相互验证,分析了误差来源,明确了提升方向。

主 题 词：真空技术 放气率测试 转换气路 molflow 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.06.05

馆 藏 号：203947221...