基于Matlab的磁透镜场分布计算与优化分析

作     者：史丽娜 刘俊标 李文萍 韩立 SHI Li-na;LIU Jun-biao;LI Wen-ping;HAN Li

作者机构：中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院大学北京100049 北京航空航天大学北京100083 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2017YFF0107202) 中国科学院关键技术研发团队项目(No.GJJSTD20170005) 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2020年第39卷第3期

页      码：250-255页

摘      要：磁透镜聚焦是获得微束斑电子束的一种主要方法,磁透镜的场分布直接影响着电子束的品质。为了解决商业软件难以实现的磁透镜参数化设计,本文基于Matlab编制了计算磁透镜场分布的有限元法程序,实现了磁透镜参量的系列化设计,并搭建了磁场测量平台进行实验验证,仿真值与实验值的相对误差<5%。在此基础上,编制的程序能够对磁场值是否饱和进行实时判断,进而微调控饱和区域优化透镜结构消除磁饱和点。

主 题 词：磁透镜 磁场分布 有限元法 磁矢位 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-6281.2020.03.004

馆 藏 号：203948579...