一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计

作     者：卢耀文 柏向春 代建设 吉建丽 黄成功 闫睿 田虎林 魏萌萌 陈俊儒 周青枝 Lu Yaowen;Bai Xiangchun;Dai Jianshe;Ji Jianli;Yan Rui;Tian Hulin;Huang Chenggong;Wei Mengmeng;Chen Junru;Zhou Qingzhi

作者机构：北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京东方计量测试研究所北京100086 西安飞机工业(集团)有限责任公司西安710089 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第6期

页      码：531-535页

摘      要：针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。

主 题 词：真空计 现场校准 便携式 校准范围 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.06.06

馆 藏 号：203949114...