等离子体诊断用18.2nm Schwarzschild显微镜

作     者：王新 穆宝忠 黄怡 翟梓融 伊圣振 蒋励 朱京涛 王占山 刘红杰 曹磊峰 谷渝秋 Wang Xin;Mu Baozhong;Huang Yi;Zhai Zirong;Yi Shengzhen;Jiang Li;Zhu Jingtao;Wang Zhanshan;Liu Hongjie;Cao Leifeng;Gu Yuqiu

作者机构：同济大学物理系精密光学工程技术研究所上海200092 上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室上海200092 中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 

基　　金：国家自然科学基金项目(10825521,10773007) 上海市科学技术委员会科研计划项目(0952nm06900) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2011年第23卷第3期

页      码：647-651页

摘      要：研制了用于超快激光等离子体诊断的Schwarzschild型正入射显微镜,该显微镜工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10。根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构,计算了物镜的光学传递函数,结果显示,设计的物镜在±1 mm视场范围内像方空间分辨力可达125 lp/mm。根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜,制作了Schwarzschild显微镜光学元件,镀制的膜系周期厚度为9.509 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的反射率约31.1%。利用激光等离子体光源对24 lp/mm网格进行了成像实验,实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3μm,600μm内视场的分辨力为5μm。

主 题 词：Schwarzschild显微镜 激光等离子体 Mo/Si多层膜 空间分辨力 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/hplpb20112303.0647

馆 藏 号：203949199...