基于隧道效应的微机械角速率传感器

作     者：裘安萍 苏岩 周百令 QIU An-ping;SU Yan;ZHOU Bai-ling

作者机构：东南大学江苏南京210096 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2000年第8卷第4期

页      码：75-79页

摘      要：提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案 ,还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。

主 题 词：隧道效应 微机械 角速率传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-6734.2000.04.016

馆 藏 号：203950604...