差动结构的平面二维时栅位移传感器

作     者：杨继森 牟智铭 李路建 邵争光 田青青 YANG Jisen;MOU Zhiming;LI Lujian;SHAO Zhengguang;TIAN Qingqing

作者机构：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51205434) 重庆市科技计划资助项目(cstc2017jcyjAX0400) 重庆市教委科学技术项目(KJ1709232) 重庆理工大学研究生创新项目(ycx2018217) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2020年第31卷第12期

页      码：1444-1451,1460页

摘      要：为了解决采用两套高精度一维传感、装置测量二维位移时存在的测量系统复杂、检测同步性难保证和解耦运算复杂等问题,提出了一种基于差动结构的二维感应信号直接解耦方法,用于研究一种平面线圈型二维时栅位移传感器。立足于传统电磁式时栅技术,构建了二维位移直接解耦测量模型,并设计了传感器的基本结构。利用ANSYS Maxwell建立了传感器三维结构模型并进行了电磁仿真,并对仿真结果进行误差分析和溯源。基于此研制了传感器样机并进行了实验。实验结果表明:样机在79.2 mm×79.2 mm测量范围内,X方向误差为91μm,Y方向误差为74μm,可实现二维位移同步检测和直接解耦测量,且测量系统结构简单、体积小,对研究更高性能的二维时栅具有重要参考价值。

主 题 词：时栅位移传感器 差动结构 平面线圈 二维位移 直接解耦测量 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-132X.2020.12.008

馆 藏 号：203950834...