溅射离子泵抽气单元放电及离子输运仿真

作     者：宁久鑫 黄海龙 王晓冬 孙浩 NING Jiu-xin;HUANG Hai-long;WANG Xiao-dong;SUN Hao

作者机构：东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801) 

出 版 物：《东北大学学报（自然科学版）》 (Journal of Northeastern University(Natural Science))

年 卷 期：2020年第41卷第7期

页      码：962-967页

摘      要：基于有限元法,对溅射离子泵抽气单元内气体放电及离子输运过程进行了研究.采用商业软件COM SOL M ultiphysics将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到阳极筒内电子密度的分布规律.研究了气体压强、阳极电压、磁场强度等参数对电子密度的影响,追踪了离子在不同压强下的运动轨迹,得到了离子对阴极板的入射角度和冲击能量.将仿真结果代入到理论抽速计算公式中,所得结果与实验数据进行对比,两者具有很好的一致性,验证了仿真模型的准确性.对离子泵结构设计和性能优化提供了一种适用方法.

主 题 词：溅射离子泵 离子输运 多物理场耦合 仿真分析 抽气速率 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.12068/j.issn.1005-3026.2020.07.009

馆 藏 号：203952781...