具备同步运动和差动运动的双轴控制补偿方法

作     者：田翠侠 TIAN Cuixia

作者机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203 

出 版 物：《电工技术》 (Electric Engineering)

年 卷 期：2020年第12期

页      码：3-6页

摘      要：文章提出一种在掩模板物料传送系统中应用的双轴控制方法,介绍设备结构原理和运动控制方式,分析控制器的基本策略设计,最终通过在系统中应用,验证了该方法的有效性。

主 题 词：双轴 同步运动 差动运动 补偿方法 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.19768/j.cnki.dgjs.2020.12.002

馆 藏 号：203954353...