内部微缺陷的超声与数字全息成像检测系统设计

作     者：王星 高磊 王岩 汪海涛 Wang Xing;Gao Lei;Wang Yan;Wang Haitao

作者机构：中煤能源研究院有限责任公司陕西西安710051 环宇通标(北京)科学技术研究院北京100070 西安科技大学陕西西安710054 

基　　金：陕西省教育厅专项科研计划项目(19JK0537) 陕西省自然科学基础研究计划项目(2019JQ-791) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2020年第49卷第7期

页      码：133-143页

摘      要：微机电系统与微机械零件的内部微缺陷需要高精度、强穿透性的非接触检测技术。目前缺少这样内部微缺陷的检测方法。针对上述问题,设计了超声与数字全息成像的复合系统。该系统结合了超声检测的强穿透能力和数字全息成像技术的高分辨率。该系统包括近场超声子系统、数字全息子系统和同步控制子系统。在近场超声子系统中,产生的近场超声波场穿过样品的内部缺陷,在样品表面形成表面超声波场,再通过数字全息子系统测量和分析这个表面超声波场的瞬态形貌,分析声波场中包含的内部缺陷信息。实验结果表明:该系统通过对超声波场的分析,可以测量出超声波场的瞬态三维形貌,并且可以有效的检测出50μm的内部缺陷。

主 题 词：数字全息干涉术 脉冲激光 近场超声波场 内部缺陷 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20190518

馆 藏 号：203955879...