Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

作     者：姜文海 侯小柯 崔占臣 张大明 JIANG Wen-hai;HOU Xiao-ke;CUI Zhan-chen;ZHANG Da-ming

作者机构：集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区长春130012 吉林大学化学学院长春130023 

基　　金：国家高技术研究发展计划研究项目(863)基金(批准号:2001AA312160) 国家重点基础研究发展规划项目(973)基金(批准号:TG2000036602) 国家自然科学基金(批准号:60177022) 

出 版 物：《吉林大学学报（理学版）》 (Journal of Jilin University:Science Edition)

年 卷 期：2005年第43卷第2期

页      码：185-189页

摘      要：使用WVASE32型椭偏仪,对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析;并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量,根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计.在124nm到1700nm之间可测量出任意波长的折射率,其均方差(MSE)均远小于1,证明测量结果极其准确.同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

主 题 词：列阵波导光栅 聚合物 光学系数 椭偏仪 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1671-5489.2005.02.013

馆 藏 号：203956308...