微机械电容式加速度计的结构及检测技术研究

作     者：凌灵 陈文元 李凯 姜晓波 LING Ling;CHEN Wen-yuan;LI kai;JIANG Xiao-bo

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030 

基　　金：武器装备预研基金(9140A09020706JW0314) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2008年第8期

页      码：3-4,12页

摘      要：三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性,严重的将导致不能正常工作,通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计,能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试,测试前使用单片机将程序写入该芯片,调节其内部参数,使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。

主 题 词：微加速度计 单片机 MS3110 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2008.08.002

馆 藏 号：203957818...