压电微悬臂梁传感器性能的数值模拟研究

作     者：张春娟 骆英 李红 ZHANG Chun-juan;LUO Ying;LI Hong

作者机构：江苏大学机械工业机械结构损伤检测评估技术重点实验室江苏镇江212013 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2011年第1期

页      码：1-4页

摘      要：基于力-电双向耦合理论,采用有限元方法,数值模拟研究压电微悬臂梁的灵敏度,并进行参数分析,为设计性能优良的悬臂梁提供理论依据。理论分析微悬臂梁在空气和液体中的共振频率和自身结构参数的定量关系,灵敏度与共振频率变化量、被测物质量的关系,通过数值模拟得到悬臂梁长度、宽度、厚度及共振阶数对微质量检测压电悬臂梁灵敏度的影响。在长期研究OPCM压电传感材料的基础上,进一步提出纵向振动的OPCM材料制作悬臂梁,数值模拟结果表明OPCM比PZT悬臂梁具有更高的灵敏度。数值模拟结果为设计性能优良的悬臂梁提供理论依据。

主 题 词：微悬臂梁传感器 灵敏度 有限元 动态模式 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2011.01.001

馆 藏 号：203957818...