基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计

作     者：赵博文 延峰 杨传森 卢耀文 董云宁 邵壮 梁西银 Zhao Bowen;Yan Feng;Yang Chuansen;Lu Yaowen;Dong Yunning;Shao Zhuang;Liang Xiyin

作者机构：西北师范大学物理与电子工程学院兰州730070 北京东方计量测试研究所北京100029 北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 

基　　金：国家自然科学基金青年项目(No.61804005) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第7期

页      码：619-624页

摘      要：针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的自动化程度,减少了人员操作对测量过程的影响,使测试过程更加科学规范,对分子泵抽速测试技术研究和应用具有一定参考价值。

主 题 词：分子泵 抽速测试 LabVIEW PID自整定 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.07.05

馆 藏 号：203960641...