热振动法标定微悬臂梁法向弹性系数

作     者：封玮 左燕生 林云生 韩立 FENG Wei;ZUO Yan-sheng;LIN Yun-sheng;HAN Li

作者机构：中国科学院电工研究所北京100080 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(1042740) 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2007年第4期

页      码：54-58页

摘      要：微机械加工制造的微悬臂梁(探针)作为原子力显微镜中的核心组件,已经成为微米纳米尺度下科学研究的重要工具,能否准确标定微悬臂的弹性系数将影响所测力学量的最终结果。介绍了利用热噪声法标定探针的方法,分析了热振动法的原理及其修正公式。通过改进AFM系统的光路和位移检测器的前置放大电路,提高了探针法向弹性系数标定方法的精度,并设计了升温装置,对热噪声法的校正公式进行了验证,结果表明,实验与理论公式可以比较好的吻合。

主 题 词：微悬臂梁 原子力显微镜 热振动 弹性系数 标定 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203961626...