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新型二维压电光学扫描器

新型二维压电光学扫描器

作     者:袁松梅 林继杰 庄驰 刘强 YUAN Song-mei;LIN Ji-jie;ZHUANG Chi;LIU Qiang

作者机构:北京航空航天大学机械工程及自动化学院北京100083 

基  金:教育部留学回国人员科研启动基金资助项目 北京市教委重点学科共建基金资助项目(XK100060532) 

出 版 物:《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期:2007年第29卷第4期

页      码:411-413页

摘      要:介绍了一种新型二维压电光学扫描器的制备和工作原理,并利用有限元模型对二维压电光学扫描器作了振动模态的分析,最后采用激光多普勒干涉仪测量了二维压电光学扫描器的扫描频率和振动特性。实验表明,二维压电光学扫描器仅用2个双压电晶片驱动反射镜实现二维图像扫描,其器件加工简单,结构设计合理,同时适用于驱动器领域,实现二维驱动。

主 题 词:二维压电光学扫描器 激光多普勒干涉仪 振动模态 有限元分析 

学科分类:1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录:

D O I:10.3969/j.issn.1004-2474.2007.04.013

馆 藏 号:203963093...

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