一种微型光开关的设计与仿真分析

作     者：李伟 梁静秋 李小奇 钟砚超 梁中翥 孙德贵 Li Wei;Liang Jingqiu;Li Xiaoqi;Zhong Yanchao;Liang Zhongzhu;Sun Degui

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金(60578036) 中国科学院“优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项基金”资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2008年第28卷第6期

页      码：1151-1154页

摘      要：介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02mm,能够满足器件转换光路的要求。

主 题 词：微机电系统 光开关 有限元分析 电磁驱动 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos20082806.1151

馆 藏 号：203963353...