MEMS机油压力传感器设计

作     者：关荣锋 王晓雪 GUAN Rong-feng;WANG Xiao-xue

作者机构：河南理工大学材料科学与工程学院河南焦作454000 河南理工大学理化系河南焦作454000 

基　　金：河南省科技攻关计划资助项目(0624220036) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2009年第28卷第6期

页      码：86-88页

摘      要：由于汽车应用环境相当恶劣，对机油压力传感器的可靠性要求很高。采用波纹膜片隔离技术设计了一种新型的MEMS机油压力传感器。分析了波纹膜片、充油腔体结构及硅油对压力传感器性能的影响。理论和实验结果指出，合理的设计波纹结构、充油腔体结构、减小腔体体积及净化好硅油是获得高性能机油压力传感器的关键.研制的传感器在温度为-40—125℃，量程为0．6MPa的工作条件下，测量精度优于1．5％。

主 题 词：微机电系统 压力传感器 机油压力 封装设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2009.06.028

馆 藏 号：203963839...