一种220GHz滤波器的设计

作     者：吴中川 WU Zhong-chuan

作者机构：海军装备部驻重庆军事代表局四川绵阳621999 

出 版 物：《太赫兹科学与电子信息学报》 (Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology)

年 卷 期：2013年第11卷第3期

页      码：355-358页

摘      要：基于电感膜片矩形波导滤波器设计方法和加工流程,设计了一个220 GHz带通滤波器。滤波器采用玻璃片—硅片—陶瓷片结构,由硅片形成电感膜片结构,玻璃片、陶瓷片键合在硅片上形成闭合的谐振腔,采用集成电路的制作工艺,在加工前分析了工艺特性,优化了滤波器尺寸,避免工艺对滤波器关键尺寸的影响。采用信号源、功率计进行测试,测试结果表明,滤波器在220 GHz具有通带特性,带内损耗约为7 dB。

主 题 词：太赫兹 滤波器 电感膜片 集成电路 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11805/TKYDA201303.0355

馆 藏 号：203965675...