微型电磁驱动器中微小电磁力的研究

作     者：李文军 赵小林 蔡炳初 

作者机构：上海交通大学微米/纳米科学技术研究院上海200030 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2002年第1期

页      码：45-49页

摘      要：设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器。该驱动器具有较大的驱动力和行程 ,适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电系统中。研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力 ,并用有限元模拟软件ANSYS 。

主 题 词：微型电磁驱动器 微小电磁力 平面线圈 微机电系统 有限元 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

馆 藏 号：203966226...