MEMS高g值复合量程开关设计

作     者：李功 焦新泉 袁强 LI Gong;JIAO Xin-quan;YUAN Qiang

作者机构：中北大学仪器与电子学院山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2016年第35卷第1期

页      码：82-84,87页

摘      要：提出一种复合量程的MEMS开关,该新型MEMS高g值开关可检测高达40 000 g_n的不同离散水平的冲击值,同时,在接触式阻尼模型上对不同加速度值进行分析测试。试验中,通过Hopkinson杆标定,MEMS开关最大可实现对37 000 g_n的加速度信号进行标定响应,测试的平均值与仿真相吻合,最大偏差小于5%。

主 题 词：高g值开关 复合量程 微机电系统 加速度计 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2016)01-0082-03

馆 藏 号：203966843...