DXY-1型线宽轮廓测量仪的设计

作     者：李庆祥 薛实福 王伯雄 徐毓娴 

作者机构：清华大学 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：1992年第13卷第2期

页      码：162-168页

摘      要：微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。

主 题 词：线宽 轮廓测量仪 设计 微细图形 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

核心收录：

馆 藏 号：203967488...