四足压电驱动装置的电源设计与研究

作     者：贾丹平 韩硕 杨晓峰 王振华 JIA Danping;HAN Shuo;YANG Xiaofeng;WANG Zhenhua

作者机构：沈阳工业大学光电检测实验室辽宁沈阳110870 复旦大学集成电路与系统国家重点实验室上海200433 复旦大学超精密运动控制与检测实验室上海200433 

基　　金：辽宁省教育厅科学研究基金资助项目(LFGD2019006) 广东省实验室季华实验室基金资助项目(18002U1Z00) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2020年第42卷第4期

页      码：573-578页

摘      要：压电驱动装置具有纳米级/微米级定位的特性,被广泛应用于精密控制运动平台中,故对压电驱动装置的速度和精度的要求越来越高。根据步进式压电马达驱动原理,结合四足压电驱动装置动力学模型,设计了一种用于新型叠堆结构的四足压电驱动装置的驱动电源。该电源是高电压为±250 V和高频率为1.5 kHz的线性电源,且采用硬件阻抗补偿和信号切换两种策略,进一步解决了容性负载对信号频宽影响的问题,使四足压电驱动装置高精度恒速输出。同时应用硬件在环仿真与测试的方法搭建了实验平台。实验结果表明,在精度为1 nm分辨率的激光干涉仪采集设备中,实现了点对点50.7 nm的四足压电驱动装置的运动测试。

主 题 词：压电驱动装置电源 阻抗补偿 信号切换 动力学模型 

学科分类：080903[080903] 080801[080801] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2020.04.030

馆 藏 号：203968241...