基于BBr3液态硼源的管式扩散设备研究与开发

作     者：黄志海 陈勇平 赵志然 闫海莲 姬常晓 HUANG Zhihai;CHEN Yongping;ZHAO Zhiran;YAN Hailian;JI Changxiao

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2020年第49卷第4期

页      码：9-12页

摘      要：针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连;优化进出气方式和石英管内压力及气流场控制,提高扩散均匀性;在工艺中增加通水蒸汽功能步,优化反应过程,减少副产物对石英件的腐蚀,降低石英件损耗成本,提高了硼扩散设备的生产效率。为N型晶硅电池硼扩散工艺提供了设备基础。

主 题 词：液态掺杂源(BBr3) 扩散设备 N型晶硅电池 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203968252...