微机械电容式加速度计读出电路研究与设计

作     者：段王楠 马宗方 张兴成 Duan Wangnan;Ma Zongfang;Zhang Xingcheng

作者机构：西安建筑科技大学信息与控制工程学院西安710055 中国科学院微电子研究所北京100029 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61701388) 住房和城乡建设部研究开发项目(K32016014) 陕西省教育厅产业化项目(18JC017) 西安建筑科技大学青年科技基金(QN1529,QN1630) 

出 版 物：《计算机测量与控制》 (Computer Measurement &Control)

年 卷 期：2020年第28卷第8期

页      码：233-237页

摘      要：为了提高电容式MEMS加速度计测量精度,设计了一种应用于MEMS加速度计微弱信号读出电路;读出电路由T型阻容网络放大电路、模拟开关解调电路和四阶带通滤波电路组成,通过Multisim软件仿真分析各模块电路原理并确定影响读出电路的主要因素,进一步优化确定元器件最佳参数,最后制作出PCB电路板并开展实验测试,实验结果表明微弱信号检测准确率达90%以上,能很好地满足电容式MEMS加速度计微弱信号检测要求,同时该读出电路具有尺寸小、易调节、易于ASIC集成等特点,在微机械仪表的微小电容检测中有较高的实用价值。

主 题 词：MEMS加速度计 微弱信号 电容检测 读出电路 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2020.08.047

馆 藏 号：203968824...