频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻

作     者：王照亮 孙铭蔓 姚贵策 梁金国 WANG Zhao-Liang;SUN Ming-Man;YAO Gui-Ce;LIANG Jin-Guo

作者机构：中国石油大学(华东)能源与动力工程系青岛266580 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51176205 No.U1262112) 

出 版 物：《工程热物理学报》 (Journal of Engineering Thermophysics)

年 卷 期：2015年第36卷第4期

页      码：861-864页

摘      要：纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点。建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型。利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻。ZrO_2、SiO_2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m^2·K·MW^(-1)和0.066 m^2·K·MW^(-1)。发现界面热阻与扫描频率无关,未发现界面热阻随膜厚变化的尺度效应。实验和理论分析表明,声子近界面效应在增透膜和基体界面的热输运过程中起主导作用。

主 题 词：纳米薄膜 界面热阻 频率扫描3ω法 电流扫描3ω法 声子近界面效应 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203971148...