平面集成微透镜阵列的研制

作     者：覃亚丽 毛培法 王家诒 石旭刚 

作者机构：浙江工业大学浙江省光纤通信技术重点实验室浙江杭州310032 

基　　金：浙江省自然科学基金项目 !(6 990 0 2 ) 

出 版 物：《浙江工业大学学报》 (Journal of Zhejiang University of Technology)

年 卷 期：2001年第29卷第1期

页      码：51-55页

摘      要：介绍了集成微透镜阵列光学器件 ,建立了开孔式离子扩散的数学模型 ,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数 。

主 题 词：平面集成 微透镜阵列 集成光学 离子交换 光学器件 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-4303.2001.01.013

馆 藏 号：203973553...