脉冲射频/40kV高压直接耦合等离子体离子注入电源系统研制

作     者：巩春志 田修波 朱宗涛 杨士勤 Gong Chunzhi;Tian Xiubo;Zhu Zongtao;Yang Shiqin

作者机构：哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金(No.10975041 10905013) 哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2006RFXXS012) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2011年第31卷第3期

页      码：357-361页

摘      要：研制的用于等离子体浸没离子注入（PIII）的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉冲与脉冲射频交替输出。工作过程中,通过射频产生等离子体,而后施加高压脉冲获得离子注入,进而实现PIII与沉积。该电源系统的性能指标为：高压脉冲电压幅值10-40 kV,脉冲频率10-1000 Hz,射频脉冲宽度0.01-10 ms,射频与高压间隔0.1-10 ms,高压脉冲功率6 kW,射频脉冲功率1 kW。实验研究表明能够有效的实现PIII。本文将介绍该种新电源的设计思想、电路以及在内凹零部件（如管筒内壁）等离子体离子注入等方面的应用。

主 题 词：脉冲射频 高压脉冲 直接耦合 等离子体离子注入 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2011.03.21

馆 藏 号：203973586...